TTV 与燃料电池

3D Thickness Metrology and Fuel Cell Applications

随着机械工程，能源技术，半导体及消费电子行业中材料和产品的不断发展，各个行业对于半成品和成品快速精确监控要求越来越高。为此，Solarius专门针对各种产品厚度检测需求研发了综合性检测系统，即AOP厚度检测设备，AOP能够同步测量产品表面和底面的对应位置。这一上下同时检测厚度和尺寸的能力有效避免了由于接触区域受力不均匀产生支撑面变形导致的测量误差。上下表面形貌同步测量不但能够得到产品上每一点的厚度值，而且能够分析得到平面度，平行度和每个面的几何尺寸。

燃料电池几何尺寸

燃料电池中双极板被用于供应反应物和提取反应产物，因此在能量供应中是必不可少的。适宜的投入产出比要求反应物通过指定的长度，而长度是由通道的尺寸所决定的。这就意味着形状尺寸检测对于燃料电池的性能保证是必不可少的。这些检测可以由Solarius的燃料电池检测设备完成，设备工作时同步测量双极板两侧形貌。专用软件对预先定义的测量点进行分析并提供明确的判定结论。

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特别是对于研发和入门制造目的，气体层条件也是必不可少的。3D光学表面测量系统可以详细查看几何形状，结构，纹理，粗糙度和许多其他技术参数，并允许检查缺陷及其起源进行溯源。

晶圆总厚度变化（TTV) & 透明表面层厚

理想的晶圆是一个上下表面完全平整并且相互完美平行的圆盘，而实际上，加工工艺的限制会在原始晶圆表面造成各种偏差。总厚度变化（TTV）受到所有的后续制程影响，弯曲度（bow）和翘曲度（warp）则受到部分后续制程影响,因此都必须予以监控。

光学透明的材料无需表面具有台阶或者从上下两面同时检测才能测量厚度；通过共聚焦测量技术原理和有关折射系数的知识，我们可以同时测量上层和下层表面形貌进而将对应位置的高度相减得到表面任意位置厚度。这一原理同样适用于透明涂层和玻璃。

电池尺寸

当前的锂电池集高能量密度，高输出电压和小尺寸于一体，目的是尽量减小终端设备上的空间占用同时保证长续航时间。这就要求控制尺寸以确保电池最终能够准确地安装到终端设备上。除了单纯的尺寸检查，也需要同时检测平行度和平面度。Solarius的自动化电池检测解决方案同时测量电池上下两侧并给出结果判定，瑕疵部件被自动进行筛选分类。