除了能够评测外形粗糙度外,其光学表面特性还能够获得更多ISO 25178的特征信息，从而确定表面质量的水准。

粗糙度是描述表面高度不均匀性的术语。根据ISO 4287的评价提供了用于控制各个型材上的技术表面的定义参数。

除了距离和高度的测量之外，对物体形状的测量也是确定几何量的方式，如同直径和角度。

颗粒检测将颗粒与背景区分开来，并测量直径、高度、面积及其分布。

距离测量是指确定在空间或平面内的两个点、直线或平面之间的宽度。

测量腔体或物体的体积是由测量形状、表面和高度而产生的。

直线度是一条生成的必须被定位的直线形状偏差的指示。公差限制来自两条虚线，与创建的理想直线平行。

高度的差异是在两个或多个“阶梯”上测量的，其中一个阶梯作为参考平面。结果可以从单点、轮廓或表面获得。

颗粒分析将颗粒与环境分开，测量其横向尺寸、位置和二维参数的分布。

平面度是一条创建的必须被定位的平面表面形状偏差的指示。公差限制来自两个假象的平面，与创建的理想平面平行。

透明表面经常需要使用到，例如，在涂覆工艺中。它们的功能常常决定性地取决于涂层的厚度，这就是为什么连续监测是必不可少的。

第一和第二级互连通常以半球形凸块的形式进行。这些凸块需要检查高度、直径、错位和共面性。

表面的波形在很大程度上决定了它的外观，以及粗糙度，对表面受到的摩擦也有影响。

整个系统的功能通常取决于微结构部件的精确定位。因此，有必要获得这些相对或者绝对位置。

在纳米科学中，通常使用诸如扫描电子显微镜等复杂方法来获取特征信息。现代光学方法中干涉测量和共焦显微镜提供了另一种选择。

在尺寸精度方面，部件厚度也是一个重要参数。这可以通过两个传感器系统可靠地检测到。

为了保持油、油漆或其他液体的存量，空的体积被引入到表面。制造时遵从体积的规格对于不变的表面功能是非常重要的。

平行度描述了两个相关表面位置的偏差。可以理解为平面与平行于参考平面的最大偏差。

技术表面可能有意或无意地含有孔隙。这些特征可通过光学特性方法在横向和纵向的扫描检测出来。

根据工艺，表面纹理在其结构中具有优选的方向。这些可以可靠地使用3D测量设备来确定。

缺陷检查寻找划痕、裂纹、毛孔和其他空隙。但在某些工艺中，材料和沉积物的累积也可能是严重缺陷。