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Solarius BGA测量系统检测并表征半导体器件的参数。这种快速光学3D检测设备符合半导体行业通用标准，是品保及过程控制的理想工具。

• 易于自动化
• 极速非接触测量
• 完美的在线测量
• 定制的方法与算法
• 定制的数据分析
• 符合JEDEC标准
• 兼容SEMI S2/S8

BGA检测系统是一套具备完整功能成套专用检测系统。它包括一个快速非接触式的光谱共聚焦线传感器，能够以纳米级的分辨率每秒测量几十万个点并生成3D数据。系统采用测量范围高达400mmx400mm的高精度XY运动平台，并且配备隔振平台。专有的分析算法提供定制化数据分析。