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AOP 定制 一款模块化表面测量解决方案,可提供广阔范围的3D影像传感器

为了满足各种严苛的测量需求,高灵活兼具高精度的定制化解决方案应运而生

YouTube 视频

AOP平台是Solarius最灵活的针对各种定制测量任务的模块化解决方案。根据需求,它可以配备不同的3D测量传感器,多种尺寸的线性马达以及定制化软件。这样的灵活性支持广范围的多样化应用及工作环境,可以根据每个客户的需求量身定制。

传感器类型彩色共聚焦点传感器
彩色共聚焦线传感器
共聚焦矩阵传感器
白光干涉矩阵传感器
变焦矩阵传感器
点三角传感器
线三角传感器
平面测量范围最大500mm x 500mm
垂直测量范围100 µm 至 80 mm
平面分辨率最大1um
垂直分辨率最大1纳米
供货范围标准系统  轴及控制器
根据规格配置传感器
系统PC,笔记本电脑
Solar Scan NT软件,Win10 x64
Solar Map数据分析软件
定制化图像处理方案
自动化测量路径

模块化的AOP系统可配置多种无损测量传感器,包括光谱共聚焦点、线传感器、共聚焦面传感器、激光三角线传感器、白光干涉传感器以及二维平面成像系统,可以实现最高10nm的高度分辨率以及在0.13s内高达80,000点的高速测量。优秀的隔振系统以及高达500mm以上的水平测量范围使得其成为应对各种测量任务的最佳解决方案。

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应用在代表性领域

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消费性电子

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汽车工业

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晶片生产

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印刷

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