Das Solarius BGA System misst und charakterisiert die Parameter einzelner Halbleiterbauelemente. Durch seine schnelle, optische 3D-Messung ist es ideal für Qualitätssicherung und Prozesskontrolle. Es entspricht dabei den gängigen Standards der Halbleiterindustrie.
- Einfach zu automatisieren
- Ultraschnelle berührungslose Messung
- Optimal für Online-Inspektionen
- Kundenspezifische Rezepte und Algorithmen
- Kundenspezifische Datenanalyse
- JEDEC konform
- SEMI S2/S8 konform
Die BGA-Plattform ist ein in sich geschlossenes, anwendungsspezifisches Messgerät. Es verwendet einen schnellen chromatisch-konfokalen Zeilensensor mit einer 3D-Messrate von mehreren Hunderttausend Punkten pro Sekunde und einer Auflösung im Nanometerbereich. Ein hochpräziser XY-Tisch mit einem Messbereich von bis zu 400 mm x 400 mm sowie eine schwingungsisolierte Plattform vervollständigen das System. Speziell auf die Anwendungen in der Halbleiterindustrie zugeschnittene Analyse-Algorithmen stehen zur Verfügung, um individuelle Datenanalysen zu ermöglichen.
