Aufgrund der zunehmenden Komplexität und Miniaturisierung in der Halbleiterfertigung ist die Wafermessung heute wichtiger denn je. Durch die präzise Messung und Kontrolle der Wafergeometrie können Hersteller die Waferqualität sicherstellen, die Ausbeute steigern und die strengen Spezifikationen für fortschrittliche Chips erfüllen.

Unsere hochmoderne Waferinspektionslösung integriert einen Hochgeschwindigkeits-Flächenscansensor für präzise Messungen von Abstand, Dicke und Oberflächentopografie. Dieses auf hohe Genauigkeit und Effizienz ausgelegte System eignet sich ideal für die Halbleiterfertigung und gewährleistet die präzise Messung kritischer Merkmale wie Ebenheit, Krümmung, Verformung und Dicke.

• Wechseln Sie nahtlos zwischen Distanz- und Dickenmessmodus, um kritische Wafer- und Chip-Eigenschaften wie Ebenheit, Krümmung, Verformung und mehr zu erfassen.
• Reduzieren Sie die Zykluszeit erheblich und erhalten Sie gleichzeitig die Messgenauigkeit.
• Nutzen Sie die intuitive Software von Solarius, um Rezepte und Analysevorlagen für vollautomatische Messungen und Datenanalysen zu erstellen.
• Betrieb als eigenständiges System oder Integration in die Fabrikautomation über EFEM-Ladeports für erweiterte Waferdispositionsfunktionen.

• Sorgen Sie für präzise, ​​beschädigungsfreie Messungen mit fortschrittlicher berührungsloser Technologie.
• Kurze Zykluszeiten optimieren Produktionsabläufe und sparen wertvolle Zeit ohne Kompromisse bei der Genauigkeit.
• Liefern Sie detaillierte, zuverlässige Ergebnisse mit hochauflösenden Scans und außergewöhnlicher Messpräzision.
• Erfüllen Sie Industriestandards mit Ergebnissen, die den ISO- und ASME-Richtlinien entsprechen.
• Optimieren Sie Ihre Abläufe durch automatisiertes Scannen und Analysieren für konsistente, wiederholbare Ergebnisse.

Unsere proprietäre Software vereinfacht den Messvorgang. Definieren Sie relevante Bereiche, erstellen Sie Rezepte und analysieren Sie die Ergebnisse mühelos. Einmal konfiguriert, ermöglichen Rezepte und Analysevorlagen vollautomatische Inspektionen, steigern die Produktivität und sorgen für konsistente Ergebnisse.